Principe : L’analyse EBSD est une technique d’analyse cristallographique locale basée sur l’exploitation des diagrammes de diffraction des électrons rétrodiffusés. Elle permet de relier la cristallographie à la microstructure de l’échantillon. C’est l’énorme avantage qu’elle possède par rapport à la méthode conventionnelle d’analyse cristallographique qu’est la diffraction des rayons X. Toutefois, cette dernière permet généralement de réaliser une étude plus globale de l’échantillon.
La résolution angulaire, obtenue en EBSD quand on mesure une orientation, est inférieure à 0.5°, tandis que la résolution spatiale est de l’ordre du micron dans un MEB conventionnel (filament tungstène) et de l’ordre de quelques dizaines de nanomètres dans un MEB haute résolution de type FEG.
Un détecteur EBSD est principalement composé d’un écran fluorescent, sur lequel vont se former les diagrammes de diffraction, et d’une caméra à bas niveau de lumière, qui va permettre de récupérer l’image de ces diagrammes. Le détecteur est généralement placé dans un microscope électronique à balayage (MEB). Le faisceau électronique généré par le MEB va ainsi venir percuter la surface de l’échantillon incliné de 70°, pour permettre d’obtenir le meilleur compromis entre une émission maximale des électrons rétrodiffusés et la limitation des effets néfastes de la rugosité éventuelle de l’échantillon.