Fiches Techniques

Principe : Le profilomètre optique est un système de mesure sans contact utilisé pour évaluer avec une extrême précision l’état de surface (profilage et topographie), la rugosité et le contour d’une pièce donnée, quelle que soit sa forme (plane, bombée, convexe…), sa texture, sa taille ou son poids.

La majorité des profilomètres sans contact sont munis d’un contrôleur intégré (compact) afin de permettre une mesure « sous tous les angles ». La facilité de déplacement et de positionnement aide à l’obtention d’une topographie 3D (voire 4D sur certains modules) à l’échelle micro ou nanométrique.

Plusieurs technologies sont utilisées en profilométrie optique mais les plus répandues auprès des fabricants sont la variation focale, la microscopie confocale, l’interférométrie en lumière blanche, l’holographie, et la réflectométrie par projection de lumière structurée.

Intérêt/objectif :

Sa flexibilité et sa maniabilité en ont fait l’outil de mesure par excellence auprès des secteurs de précision comme l’aéronautique ou l’aérospatial, l’électronique, la robotique ou la microfabrication…

• Hauteur des marches atomiques et mesure dimensionnelle
• Caractérisation de l’usure et du frottement des pièces mécaniques
• Déterminer l’uniformité des bosses de soudure, par exemple, sur les puces retournées (« flip chips ») et sur d’autres emballages avancés
• Corréler les mesures de rugosité avec les propriétés des matériaux, par ex. l’adhérence, la corrosion, l’apparence Mesurer le rayon de courbure des canaux microfluidiques, des produits optiques, etc.
• Évaluer l’inclinaison des wafers couverts d’un revêtement/traités
• Quantifier l’épaisseur des couches continues de SiO2