Principe : La spectroscopie des électrons d’Auger est une technique analytique de surfaces qui utilise un faisceau électronique à haute énergie comme source d’excitation. Les atomes excités par le faisceau électronique peuvent devenir libres, entraînant l’émission d’électrons « Auger ». Les énergies cinétiques des électrons Auger émis sont caractéristiques des éléments présents dans les premiers 5-10nm de l’échantillon.
Aux fins de microanalyse des surfaces, le processus Auger est généralement induit par un faisceau finement focalisé d’électrons incidents de quelques kiloélectronvolts (5 à 25 keV) dans un équipement spécifique ayant une structure analogue à celle d’un microscope électronique à balayage qui serait doté de l’ultravide et équipé d’un analyseur d’électrons. En microanalyse locale, la sonde électronique incidente est focalisée sur le détail à analyser et le spectre des électrons, émis entre 50 eV et 2,5 keV est acquis. La position énergétique des raies Auger permet de déterminer la nature des éléments constituants et la mesure de l’intensité des raies permet, elle, d’accéder à leur concentration (dosage ou quantification). Les limites de la technique sont liées aux effets perturbateurs du faisceau incident d’électrons, notamment sur les matériaux isolants ou fragiles.