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Fiches Techniques

Analyse chimique: Spectroscopie AUGER

Principe : La spectroscopie des électrons d’Auger est une technique analytique de surfaces qui utilise un faisceau électronique à haute énergie comme source d’excitation. Les atomes excités par le faisceau électronique peuvent devenir libres, entraînant l’émission d’électrons « Auger ». Les énergies cinétiques des électrons Auger émis sont caractéristiques des éléments présents dans les premiers 5-10nm de l’échantillon.

Aux fins de microanalyse des surfaces, le processus Auger est généralement induit par un faisceau finement focalisé d’électrons incidents de quelques kiloélectronvolts (5 à 25 keV) dans un équipement spécifique ayant une structure analogue à celle d’un microscope électronique à balayage qui serait doté de l’ultravide et équipé d’un analyseur d’électrons. En microanalyse locale, la sonde électronique incidente est focalisée sur le détail à analyser et le spectre des électrons, émis entre 50 eV et 2,5 keV est acquis. La position énergétique des raies Auger permet de déterminer la nature des éléments constituants et la mesure de l’intensité des raies permet, elle, d’accéder à leur concentration (dosage ou quantification). Les limites de la technique sont liées aux effets perturbateurs du faisceau incident d’électrons, notamment sur les matériaux isolants ou fragiles.

Intérêt/objectif :

Cette technique permet :

  • analyse élémentaire qualitative : tous les éléments sont détectables, sauf H et He,
  • seuil de détection de 0,1 – 1,0 % atomique suivant les éléments,
  • analyse de surface : profondeur d’analyse inférieure à 100 Å (30 à 50 Å environ),
  • informations sur les formes chimiques des éléments détectés (types de liaison, proportion oxyde/métal…),
  • analyse semi-quantitative
  • imagerie submicronique
  • analyse non destructive… sauf dans le cas de réalisation de profils de concentrations sur quelques 100 à quelques 1000 Å,
  • analyse d’échantillons conducteurs uniquement,
  • – analyse sous ultravide (10-10 – 10-11 torr).

Spectrophotométrie de plasma à couplage inductif

Analyse chimique
5

Chromatographie d’exclusion stérique

Analyse chimique
5

Spectrométrie de fluorescence X

Analyse chimique
7

Spectroscopie AUGER

Analyse chimique
6

Chromatographie gazeuse

Analyse chimique
4

Spectroscopie RMN

Analyse chimique
8

Spectroscopie de masse des ions secondaires

Analyse chimique
4

Spectrométrie de masse

Analyse chimique
7
  • Analyse chimique: Spectroscopie AUGER
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